风机过滤单元（FFU）简介

　　风机过滤单元（FFU）简介

　　风机过滤单元是自带风机的高效过滤装置，简称FFU。近十年内新建的芯片厂中大量使用FFU，它主要用在大面积层流洁净厂房的屋顶送风。

　　这种装置过去经常用于小局部的送风，所以有的厂家曾管它叫微环境高效过滤送风装置。国内有时称其为“层流罩”，但国内管一只风机带几只过滤器的装置也叫层流罩，那种装置不属于今天的FFU。

　　FFU中主要包含：高效过滤器（滤芯），风机，箱体，消声装置，调速器。

　　过去FFU中的高效过滤器多数是可更换的，现在许多FFU中的滤芯与箱体是粘在一起的。FFU中滤芯的过滤效率级别一般为HEPA，有时也用到ULPA。FFU中的滤芯多为无隔板结构。

　　产品出厂前，FFU也要像普通高效过滤器一样通过逐台扫描测试检验。

　　为了减轻重量，层流洁净厂房使用的FFU的箱体用铝板制造。其他用途的FFU可能是钢板外壳，也可能是不锈钢外壳。

　　对FFU的制造商来说，保证过滤效率很容易，最难办的可能要算低噪声要求。厂家在宣传FFU时景行讲噪声指标如何低，而不去吹嘘过滤效率如何高。

　　许多FFU生产厂商瞄准的是芯片厂。目前国际市场上FFU产品的竞争激烈，价格也不断下跌。国内生产的FFU不多，竞争局面尚未形成，国外厂商在竞争中国项目中的FFU，而国内新建芯片厂也更愿意选用进口产品。